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課程名稱 |
薄膜技術與表面分析
Thin-film Technology and Surface |
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開課學期 |
102-2 |
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授課對象 |
工學院 化學工程學研究所 |
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授課教師 |
戴子安 |
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課號 |
ChemE5030 |
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課程識別碼 |
524 U1800 |
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班次 |
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學分 |
3 |
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全/半年 |
半年 |
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必/選修 |
選修 |
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上課時間 |
星期四7,8,9(14:20~17:20) |
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上課地點 |
普205 |
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備註 |
化工選修課程。與吳乃立、呂宗昕、吳紀聖、王勝仕、吳嘉文、陳賢燁合開
限學士班四年級以上
總人數上限：50人 |
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Ceiba 課程網頁 |
http://ceiba.ntu.edu.tw/1022ChemE5030_ |
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課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
核心能力與課程規劃關聯圖 |
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課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
Introduction to various fundamental techniques in analyzing thin-film materials. Lectures on different analytical theories. Students are provided with opportunities to operate experimental instruments and apparatuses. |
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課程目標 |
thin film tech |
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課程要求 |
Course Outline Instruction Hours remark
Topics Contents lecture demonstration experiment others1
Introduction 1. Thin-film technology and surface analysis 3
1.
X-ray diffraction and analysis of crystal phases on thin films
1. Thin-film deposition by the sol-gel method
2. Semiconductor chemical sensors
3. X-ray diffractive analysis 3 3
Synthesis and properties of electrochromic thin films 1. Spectro-electrochemical properties of electrochromic thin films
2. Fabrication and application of electrochromic devices
3. Performance evaluation on electrochromic devices 3 3
Atomic force microscope (AFM)
1. Tunneling effects
2. Application of tunneling effects
3. Atomic force microscope (AFM)
4. Lateral force microscope (LFM)
5. Phase imaging 3 3
Surface analysis by using XPS and Auger 1. Introduction to Surface analysis
2. XRF theory and
spectra
3. Auger theory and
spectra 3 3
Scanning electron microscopy (SEM) 1. Varieties and functions of electron microscopes
2. Comparisons between electron and optical microscopes
3. Machinery structure of electron microscopes
4. Points for attention for operating electron microscopes 3 3
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預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
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指定閱讀 |
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參考書目 |
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評量方式
(僅供參考) |
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週次 |
日期 |
單元主題 |
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第1週 |
2/20 |
課程簡介與AFM-戴子安老師 |
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第2週 |
2/27 |
薄膜之製備技術一(CVD)-陳賢燁老師 |
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第3週 |
3/6 |
薄膜之製備技術二-吳嘉文老師 |
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第4週 |
3/13 |
XPS -吳紀聖老師 |
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第5週 |
3/20 |
X光繞射分析-吳乃立老師 |
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第6週 |
3/27 |
SEM-呂宗昕老師 |
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第7週 |
4/3 |
放假 |
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第8週 |
4/10 |
SPR-王勝仕老師 |
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第9週 |
4/17 |
期中考 |
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第10週 |
4/24 |
Thin-Film 實習 |
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第11週 |
5/1 |
XPS 實習 (因帶課助教身體不適，改至6/12) |
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第12週 |
5/8 |
同步幅射中心 - 詹丁山博士 (普通教室 205) |
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第13週 |
5/15 |
XRD 實習 |
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第14週 |
5/22 |
SEM 實習 |
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第15週 |
5/29 |
AFM 實習 |
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第16週 |
6/5 |
SPR 實習 |
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第17週 |
6/12 |
XPS 實習 |
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第18週 |
6/19 |
期末考 |